技术文章

Technical articles

当前位置:首页技术文章安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项

安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项

更新时间:2020-10-15点击次数:2383

安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项

(1) 不能在前级泵工作时(前级管道接通) 和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

(2) 分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

(3)选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

(4)不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

(5)分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

安捷伦涡轮分子泵系统的操作注意事项

尽量避免频繁启停

分子泵在匀速工作时,转子叶片仅受到离心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不计),即远离轴心的方向的拉力;而在加速和减速的时候,叶片还受到转动切线方向的力,相当于对叶片进行弯折的力。显而易见,对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。

另外,分子泵在加速时功率较大,内部发热比较严重,频繁的启停(两次启动间隔<30 分钟)会造成热量累积,使分子泵内部的温度过高,加剧轴承磨损。

根据工艺条件选择适当的冷却

分子泵的冷却方式有三种:自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵,在没有气体负载的情况下,可以采用自然冷却;较大的分子泵或者有一定的气体负载时,需要选择强制风冷(风扇冷却);对于有些负载很大的应用(比如CVD),或者不方便使用风扇的环境(如辐射环境),需要采取水冷。

技术规格
抽速ISO 100 K/CFF 6”/ISO 160 K/CFF 8”
N2
He
H2
Ar
250 L/s
255 L/s
220 L/s
250 L/s
大气体流速
N2250 SCCM
压缩比
N2
He
H2
Ar
> 1 × 1011
> 1 × 108
1.5 × 106
> 1 × 1011
N2 大前级耐压12 mbar
极限真空(使用推荐的前级泵)< 1 × 10 -10 mbar
(< 1 × 10 -10 Torr)
抽气口法兰ISO 100 K、CFF 6”、ISO 160 K、CFF 8”
前级管道法兰KF16 NW(KF25 — 可选)
转速60000 rpm(1010 Hz 驱动频率)
启动时间< 3 分钟(使用软启动时更长)
推荐的前级泵干泵:IDP-3(无气流)、IDP-7、IDP-10,
机械泵:DS102、DS302
运行位置任意位置
运行环境温度+5 °C 至 +35 °C
烘烤温度抽气口法兰极限温度 80 °C
润滑油良好的润滑时间
冷却要求
风冷自然对流(仅在无气体负荷的情况下)
加压空气冷却(环境温度 5 - 35 °C)
水冷小流速:50 L/h (0.22 GPM)
温度:+15 °C 至 +30 °C
大压力:5 bar (75 psi)
噪声声压级
(全速运行时距离 1 m 处)
41 dB(A)
储存温度-40 °C 至 +70 °C
重量 kg (lbs)
TwisTorr 305 FS
ISO 100 K    5.84 kg (12.8)
CFF 6’’         8.16 kg (17.9)
ISO 160 K     6.28 kg (13.8)
CFF 8’’        10.43 kg (22.9)
符合的法规:EN 61010-1
EN 61326-1
EN 1012-2
EN 12100
EN 50581
机械指令 2006/42/EC
电磁兼容性指令
2014/30/EU 指令 2011/65/EU
Baidu
map