什么是无油真空泵,有哪些特点及应用领域?

更新时间：2020-11-26

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　　无油真空泵属于无油类真空泵常用产品之一，由于不再使用密封液，工作时也不用添加任何真空油，大大提升了所排出空气的质量，还有一个显著的特点就是在运作时发出的噪音非常小，不对环境造成任何影响。

　　无油真空泵由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，气体通过进气管进入过滤消音器内进行过滤，达到静音的效果，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。

　　无油真空泵特点：

　　1、该产品无需任何工作介质（无油）可产生洁净的真空，不产生污染，生产过程中采用新技术和新材料。

　　2、便于携带，移动方便，工作流畅。采用无油润滑，活塞结构，比普通隔膜泵使用寿命更长久。

　　3、泵体电机采用耐受性能更好的全铜电机，可保证长久的连续工作和运转。

　　4、*的压力可调式设计，可满足一定范围内的真空度和气体流速。

　　5、采用进口轴承，运转平滑，无噪音，使用寿命长久，工作效率高。

　　6、机身外壳采用合金材料一体式压铸成型，保证外观的整洁和散热性能。

　　7、可选配防腐空气过滤器，避免腐蚀性气体对泵体配件的损坏，有效防腐蚀。

　　常见应用领域：

　　1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中。

　　2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

　　3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求。

　　4、无油真空泵在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵。

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